矽光MEMS　雪梨大學開發半導體新技術

編譯／施毓萱

由雪梨大學(University of Sydney)副教授Niels Quack領導的研究小組開發了一項新技術，將光學(optics)和微機電系統（micro-electro mechanical systems, MEMS）整合在一個微晶片(microchip)中。這項新技術為創造微型3D相機和氣體傳感器等設備鋪平了道路，並可用於精確測量空氣品質。

新的製造工藝是以矽光(silicon photonics)為基礎，並利用半導體製造技術。這有機會為光纖通訊、感應器、未來的量子運算機提供了更節能的新一代設備。而光學MEMS的獨特之處在於它們結構緊湊、耗電少、速度快、支持廣泛的光載波信號(optical carrier signal)，且光損耗低。

副教授Quack表示這是第一次在標準的矽光技術平台上整合奈米電子機械執行器(nano-electro-mechanical actuator)，而這將是邁向成熟的光子電路(photonic circuits)整合MEMS的重要一步。這項技術正準備進行大規模生產，且有可能應用於自動駕駛車輛的3D成像或新的光子輔助運算。與此同時，該技術未來將推進微奈米加工、光子學和半導體領域的知識。

資料來源:PHYS.ORG

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