據報導，有報告就指出，台積電由 ASML 製造的極紫外光微影製程（EUV） 機器，安裝了一個「終止開關」，可以遠端停用台積電的 EUV 機器。早先美國國會議員也曾建議，若中國侵台，美國可能會轟炸台積電在台灣的設施，但台灣政府則表示，將保護台積電免受任何人（包括美國）任何形式的侵略。