機台自動化程式(EAP)

是指晶圓廠製程品質上不可或缺的程式。主要為檢驗產品資訊、自動做帳,同時也能收集各產品生產過程中的製程和設備參數數據,在程式的幫助下不但能提高生產效率、產品良率,也能避免人工操作失誤,目前在半導體製造業常見的標配系統。

參考來源:ChatGPT  

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