【學長姊帶路】台積電 工程師 工作甘苦談

原標《F18 EBO Process 一年工作經驗分享》

文/DCARD 網友

EBO（電子束作業處）在台積電中被認為是支援部門，支援晶片製作，所以EBO的系統與Fab Module不太一樣，網路上的相關文章比較少，所以我貢獻一點讓人參考。

EBO，負責將客戶設計的layout製作成光罩，給黃光使用。EBO簡單分為DP（資料處理）與MM（光罩製作），MM工程部又分成Writer（電子束曝光）、Process（光罩製程）、Clean（光罩清潔）、Inspection（光罩缺陷檢測）、Repair（光罩缺陷修補）。我在Process section，因此分享Process經驗。

Process工程師是7成製程3成設備，工作簡單分為產品部分（Lot Owner）以及機台部分（Tool Owner）。

產品有光學光罩與EUV光罩，機台包含顯影機、光阻塗佈機、乾蝕刻機、CDSEM機台、量膜厚OCD機台、AFM機台。

工程師需要熟悉負責光罩層別的曝片參數，writer file架構，製程recipe，defect型態與成因，製作產品手帳維持光罩製程指標CDU（critical dimension uniformity）、MtT（mean to target）、Proximity的表現。

Process工程師與製造部副課、線上作業員需要緊密合作，產品有clip催促進度（帝王片、24hr on-call lot、全線抱著跑的片子），製造部會派工機台，聯絡工程師解hold lot與處理機況，所以工程師也需要有製造的知識。如果clip滑掉，副理主管可能需要去站OP。

系統部分有：作帳用KMS system、自動下貨TAP、曝片檔案編鍋Writer Catalog、IMS系列曝光機曝片參數Config center、Nuflare系列曝光機曝片參數與蝕刻設定Infotree、蝕刻的undercut table、自動化recipe比對RMS、monitor機台參數FDC、建立產品自動化的KMS Ucard、設定機器人機台派工MM Dispatch、機台維護ePM、機台維護PM Back、機台過貨設定smart dispatch、blank assign的eMaterial、CDSEM量測框小精靈、提自動化PMO……等。

每個process工程師至少會被分配一台大機台（蝕刻機、顯影機、光阻塗佈機）與一台小機台（CDSEM、OCD）。機台的部分需要簡單的日常清機 PM，機台的index整理追蹤，複雜的年保季保需要請Vendor，還有關於機台的CIP。

Process工程師需要熟悉defect型態（OS， helf etch，peeling等等），了解各種defect在製程中可能成因，針對不同的defect做出相應的AR。

此外，還有off-line project的工作，有的類似碩班研究設計實驗，像是關於製程改進的CIP實驗，光阻塗布可調參數：主轉速、副轉速、VUV、光阻厚度……，顯影可調參數：static、dynamic、TMAH濃度、旋轉速度、puddle與光罩距離……，蝕刻可調參數：氣體種類、氣體流量、壓力、source power、bias power、End point detection algorithm……。如果有需要進行製程變更，需要準備報告E1TB。有個人的project也有整個部門的project，部門的project像是process matching、製作qual lot。有些實驗會需要編輯writer file，自行用CAD軟體設計實驗layout，或是請OPC協助設計layout。

每天會有晨會跟夕會，看產品的表現與機況、每日defect，每週會有會議報告project進度。

值班分為日值班、小夜班、假日值班，日值班、小夜班是週ㄧ到週五，假日值班是週末或是連續假日其中一天。值班頻率：日值班、小夜班、假日值班約1個半月1次。

工時部分：一般是早上8點左右到，晚上8-9點離開公司，幾乎每天都會進無塵室，如果不喜歡常常進無塵室的話，建議另尋他處。平日值班大部分7：30到公司準備daily report，最早可能6點半就會接到電話，有些人會更早，晚上8-9點離開。如果借到機台的時間比較晚，也有可能做實驗到更晚。因為EBO沒有排大夜班，所以有緊急狀態的話半夜需要接電話，視情況可能需要回公司處理，所以每次值班前可能需要拜拜祈福。

小夜班15：30-00：30，通常解產線Hold lot，寫defect report還有daily report大概到03:00離開，如果預期不好遇到機台當機，也有可能一路解機況到天亮 假日值班，一般早上8：30到晚上8：30左右，如果有緊急情況（機台當機，曝片到站但是沒有blank可用，24hr on-call lot卡住）可能更早或更晚被call。

經濟報酬的部分，N=61.2k

本薪12N+年終2N+兩次季分紅2N*2+運動會12k+18廠激勵金10k+

春節3k+端午1.5k+中秋1.5k+年終摸彩1k+勞動節1k+生日1.5k

小夜班加給約1.3k

每個月加班費平均約8-12k

如果有員工購股每個月多2k

勞保健保預扣所得稅與福利金每個月約5.5k

最後是心得部分，台積電的產線工作絕對不輕鬆，但是經濟報酬不算差。Process工程師必須熟悉複雜分散而有時有漏洞的系統，避免人為操作失誤。需要具備同時處理很多事情的能力，懂得分類事情的輕重緩急。與製造部緊密合作，需要時常進無塵室與作業員搏感情。同時，還要具備物理化學知識，懂得recipe設計背後的科學原理，閱讀相關期刊，藉此設計實驗驗證模型。新人期3個月是最好充實本職學能的時候，第1-2個月基本上都在看線上課程，熟悉光罩製程flow，第3個月開始假日跟值班，跟著前輩學習值班技能，需要主動進取才能在紛紛擾擾的日常中學到基本知識。主管的好壞與個人的休養有關，免不了在晨會體驗被飆罵，這個部分需要自我的心理調適。這一年的EBO18生活讓我確實體驗到「在review中成長，在highlight中茁壯」。

祝福工作版的朋友可以找理想的工作！

本文由 DCARD 網友 授權轉載, 原文:《F18 EBO Process 一年工作經驗分享》

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